1. 종래의 MEMS 구동 거울
Nippon signal |
Fraunhofer Institute |
Mirrorcle Tech. |
2. 기술적 모순
: 레이저가 거울 표면에서 반사되기 위하여 경사 각도로 입사 시, 거울 표면에서는 타원 빔의 형태로 이 형성되므로, 거울 모양도 타원으로 하면 광효율이 증가하지만, 거울의 길어진 방향의 에지 부위에서 레이저 광의 회절 패턴의 길이가 길어짐.
모순 행렬 (39 x 39) :
좋아지는 점 : #18 밝기가 증가함, 나빠지는 점 : #22 에너지 손실
3. 해결 원리 : 기술시스템 내에서 기능이 나빠지게 하는 속성 변화
40 가지 해결 발명 원리 중 적용되는 원리 : #1, #6, #13, #16
#1 쪼개어 사용한다 (Segmentation).
#6 다용도 (Multifunction)
#13 반대로 해본다 (Do it reverse)
#16 초과나 부족 (Partial or excessive)
# 25 셀프 서비스 (Self service)
적용원리 : #1 쪼개어 사용한다 (Segmentation) : 거울의 표면의 길어진 방향의 에지 부위를 날카롭게 쪼개는 방안을 구상.
#16 초과나 부족 (Partial or excessive) : 구동 방향 끝을 뽀족하게 하여 레이저의 회절현상이 줄어들게 하고
#25 셀프 서비스 (Self service) : 공기역학적으로 공기를 가르는 효과를 갖게 함.
4. 특허 출원
특허명 : 레이저 디스플레이용 공진 구동 거울
특허출원번호 : 10-2006-0045978
출원일 : 2006년 5월 23일
특허명 : 레이저 디스플레이용 박막형 2축 구동 거울 및 그 제조방법
특허 등록 번호 : 10-2007-0132199 (2009.06.22. 등록)
출원일 : 2007.12.17
5. 실적 : 중소기업 기술혁신 기술 개발 사업 정부 과제 유치 및 개발
- 과제명 : 전자계를 이용한 고효율 멤스 액츄에이터 기술 개발 (2007.5.1. ~ 2009.4.30) , 정부출연금 291,000,000 원
다음은 설계 제작된 2축 구동 거울 및 성능 시현 장면이다.
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