Advanced MEMS Reliability & Failure Gate™ Tool Kit은 MEMS 디바이스의 양산 진입 전 단계에서 발생할 수 있는 설계·공정·신뢰성 리스크를 통합적으로 검토하고, 공정 편차, 잔류응력, 열·패키징 응력, Failure Mode 발생 가능성을 사전에 분석하여 정량 점수 기반 Gate 방식으로 양산 가능성을 판단하는 기술 솔루션입니다.
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NANO-I TECHNOLOGY DEVELOPMENT Advanced MEMS Reliability & Failure Gate™ Tool Kit Design–Process–Reliability Integrated Validation System |
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솔루션 개요
Advanced MEMS Reliability & Failure Gate™ Tool Kit은 MEMS 디바이스의 양산 진입 전 단계에서 발생할 수 있는 구조적·공정적·열적·패키징 연계 리스크를 통합적으로 검증하고, 고장 가능성을 사전에 예측·차단하기 위한 통합 검증 체계입니다.
본 솔루션은 MEMS 센서, 마이크로 구조체, 가스센서, 진동센서 등 공정 편차와 패키징 응력에 민감한 디바이스를 대상으로 설계 단계부터 공정 변동성, 신뢰성 리스크, Failure Mode를 함께 검토하여 양산 전 위험 요소를 줄이는 데 목적이 있습니다.

문제 정의
MEMS 디바이스의 주요 리스크미세 구조는 공정 편차에 민감하고, 릴리즈 이후 잔류응력, 열 사이클링, 패키징 응력에 의해 구조 안정성이 영향을 받을 수 있습니다. 특히 실제 고객 환경에서 발생하는 Field Failure는 원인 규명이 어렵습니다. |
양산 이후 발생하는 손실수율 급락, 고객 클레임, 신뢰성 시험 Fail, 재설계 및 재마스크 비용 증가는 제품화 단계에서 큰 부담으로 이어집니다. 따라서 양산 진입 전 Gate 방식의 통합 검증이 필요합니다. |

해결 방법: Gate-Based Validation Architecture
본 시스템은 “Gate” 개념을 적용하여 양산 진입 전 반드시 통과해야 할 구조·공정·신뢰성 검증 관문을 설정하고, 정량화된 평가 기준에 따라 Go / Conditional Go / No-Go를 판단합니다.
기존 방식이 설계·공정·신뢰성 요소를 개별적으로 해석한 뒤 엔지니어 경험에 의존하는 구조였다면, 본 시스템은 단계별 검증과 정량 점수 기반 평가를 통해 양산 진입 여부를 명확하게 결정하는 것을 목표로 합니다.

시스템 구성
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Module 1. Design–Process Interaction Risk Matrix™
설계 파라미터와 공정 편차의 상호작용이 구조 신뢰성에 미치는 영향을 정량적으로 분석하여 양산 전 리스크를 등급화합니다.
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Module 2. Process Variability Sensitivity Mapping™
두께, 식각, 온도, 릴리즈 등 공정 변수의 변동이 구조 성능과 응력에 미치는 영향을 정량적으로 시각화합니다.
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Module 3. Failure Mode & Root Cause Correlation Library™
Stiction, Crack, Warpage, Release Failure 등 MEMS 공정 실패 모드와 설계·공정 조건의 상관관계를 분석합니다.
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Module 4. Reliability Gate Scoring Engine™
설계 리스크, 공정 민감도, 열·패키징 응력, 고장 이력 데이터를 통합 정량화하여 양산 가능 여부를 최종 점수로 판단합니다.
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핵심 결과: Reliability Score & Gate Decision
설계 리스크, 공정 민감도, 패키징·열 응력, Root Cause 기반 리스크를 통합 정량화하여 최종적으로 Reliability Score와 Gate Decision을 도출합니다.
| 80~100 GO 양산 가능 |
60~79 Conditional GO 설계 개선 후 가능 |
60 미만 NO-GO 양산 위험 |

기대 효과
양산 전 리스크 감소설계·공정·신뢰성 리스크를 사전에 검토하여 양산 이후 문제 발생 가능성을 줄입니다. |
재설계 비용 절감재마스크, 재설계, 반복 시험으로 이어지는 시간과 비용 손실을 줄이는 데 기여합니다. |
Failure 원인 추적실패 모드와 설계·공정 조건의 상관관계를 기반으로 근본 원인 분석을 지원합니다. |
양산 의사결정 지원정량 점수 기반 Gate 판단을 통해 양산 진입 여부를 명확하게 검토합니다. |

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MEMS 센서, 마이크로 구조체, 가스센서, 진동센서의 양산 전 신뢰성 리스크 검토가 필요하신 경우 Nano-I가 설계–공정–신뢰성 통합 검증 관점에서 기술 검토를 지원합니다. |
070-8827-9577 010-4293-9577 nano@nano-i.com |
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