당사는 MEMS 설계 서비스를 제공하고 있습니다.  연락처 : nano@nano-i.com, 010-4293-9577

MEMS (초소형 전기 기계 시스템) 설계에 대하여 간략하게 설명하겠습니다.

MEMS 설계는 소자 제작을 위한 공정 설계, 모의실험, 마스크 설계 단계를 의미합니다.

1. 공정 설계

MEMS 설계를 하려면멤스 소자의 제작에 대하여 이해를 하고 있어야 합니다..주로 마이크로미터 크기 수준의 반도체 공정과 같은 방법으로 제작되어집니다만, 약간 다른데, 위 공법으로 하되 기계적 특성을 가지게 하는 3차원 구조체에 대한 아이디어를 구상하여야 합니다..그리고 소자 규격, 제작 가능성 등이 구상되어지는 공정설계 단계가  진행되어야 합니다..연락하시면 이에 대한 컨설팅 및 이하 단계의 컨설팅도 같이 진행되어집니다.

2. 모의실험

모의실험은 MEMS 설계 (멤스 설계)의 꽃이라고 해도 과언이 아닙니다. 물리학 화학 재료 기계 반도체 전자 기타 파라미터와 설계 규칙 등을 고려하여 실제 상황을 구상하여 가상공간에서 3차원 구조체의 소자를  설계하여 기본 성능 및 내구수명 등을 고려한 신뢰성 설계도 같이 이루어집니다. 이 과정에서 나노 기술도 포함됩니다..

3. 마스크 설계

마스크 설계는 모의실험 결과를 가지고 각 공정 단계에 해당하는 포토리쏘그래피 및 식각 공정을 위한 마스크가 설계됩니다.

4.소자 제작

반도체 제작 공법과 거의 같은 방법으로 국내외 파운드리 라인을 통하여 소자 제작이 진행됩니다.

5. 특성 분석

MEMS 설계 후 제작된 소자의 특성 및 성능을 회로 등을 구성하여 분석하게 됩니다. 

6. MEMS 설계 사례

   - MEMS 가스 센서 : http://www.nano-i.com/webjin_development/1276373