고출력용 마이크로 렌즈 어레이 (설계 단계의 성능 검증)

고출력용 마이크로  렌즈 어레이 개발

 

일반 마이크로 렌즈 어레이 (Micro lens array) 는 보통 폴리머를 사용하였으나,

당사는 고출력용으로는 쿼츠 재질의 마이크로 렌즈 어레이를 공정 파라미터를 적용하여 설계 단계에서 이미 제작 시뮬레이션하였습니다.

조명 광학계의 beam expander  또는 LDI (Laser Direct imaging),  마스크 없는 노광기 (maskless photolithography) 등으로 응용 가능합니다.

일반적으로 쿼츠는 노광기의 UV 파장대에서 투과율이 높고, 고출력 파워의  노광기 등에서 응용 가능합니다.

고객의 요구 (마이크로 렌즈 어레이의 광학 설계 데이터)가 있을 경우에는 언제라도 개발 제작 가능합니다. 감사합니다.

010-4293-9577, e-mail : nano@nano-i.com

 

 

 

1) 용도

가) 조명용 Beam expander

 

 

2)  결상용 : 마스크 없는 노광기 또는 LDI (Laser Direct Imaging) 등

 

 

 

2) 마이크로 렌즈 어레이 설계

가)파장대 300 nm ~ 1000nm (90% 이상의 투과율 )  의 마이크로 렌즈 어레이

 

 

 

 

나) 파장대 170 nm ~ 1000nm  의 마이크로 렌즈 어레이의 설계 및 제작 과정입니다. 재질은 쿼츠가 되겠습니다.