MPW service for MEMS gas sensor
We start MPW (Multi Project wafer) service for the MEMS gas sensors.
Many customers are facing a significant burden in the initial development costs for MEMS devices. You can develop the product you want at a predetermined cost to relieve the burden.
This is a method to proceed with the process by inserting a number of companies designs in a mask. If eight companies participate into eight regions on a single mask, it can be produced from one wafer products for the respective companies at the same time.
After finishing the fabrication, each compay will receive a delivery of each product. Of course, it will fit with NDA agreement to proceed.
The following are, in reference to customer to design the MEMS gas sensors.
1.A description of the basic structure of a MEMS gas sensor.
The abow picture shows the overall structure of the membrane sustained by four anchors. There is a layer of air under the membrane structure that is easy to keep up the temperature increased by a heater. At a constant temperature to some extent, sensor reacts with specific gas. The membrane is basically made up of five layer thin film, the material on each film is as in the picture above.
2. A description of the simulation for MEMS gas sensors.
The above figure shows that the temperature is kept when the electric power is applied to the wire in a square membrane, the size of 200um × 200um and the phenomenon that heat escape through the anchor with modeling.
This is the result of a simulation by setting a length, width and thickness parameters of the Pt thin heating wire. This is an exampleof more than 500 degrees C temperature implemented in a power of about 15mW or so. ( shown in Figure absolute temperature.)
Most of the gas sensing materials react with gas at a temperature of that degrees.
Customers can proceed with the mask design after simulating cantilever bending, yield strength, and the reliability test, etc. You can ask for simulation or mask design to us.
3. A brief description of the layout.
The figure above is an example of a mask layout design, 2 × 2 array-type MEMS gas sensors. In consideration of the process order, the mask is designed to start a thin-film gas sensor MEMS processing.
Refering to the above, after customers proceed to the simulation and layout design for the MEMS gas sensors, please send us the file along with the down payment. .If some companies have gathered to participate in the MPW service, wafer level gas sensor chips will be fabricated.
Most of the production process from the mask is produced in the foundry line in Korea. The final process of gas sensing material is to be doped by customers to develop after delivered.
Please apply MPW service :
e-mail : nano@nano-i.com
Phone : 82-70-8827-9577 , Cell phone 82-10-4293-9577
R&D
The following informations are about our technology deveopment such as MEMS design, nano-MEMS applications (3D laser scanners, 3D laser display, underwater ultrasonic sensors and circuits, etc.), video intelligence, and developing applied technology and other service-related knowledge as possible available information. It will be continuously updated.
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